آسیب الکتریکی استاتیک در اتاق تمیز

آسیب الکتریکی استاتیک در اتاق تمیز

نیمه هادی ها، صفحه نمایش تخت، optoelectronics و دیگر اتاق های تمیز، با وجود بسیاری از کار، مشکلات الکترواستاتیک در اتاق تمیز هنوز بر ایمنی تولید و عملکرد محصول تاثیر می گذارند، که بر هزینه ها و مزایای تولید تأثیر می گذارد و بر کیفیت و قابلیت اطمینان محصول تأثیر می گذارد.

1. نیروی الکترواستاتیک Coulomb

تحت اثر نیروی کولمب الکترواستاتیک، گرد و غبار جذب شده و غبار باعث ایجاد اجزای تشکیل دهنده نشت یا ایجاد یک اتصال کوتاه، که عملکرد را کاهش می دهد و عملکرد و قابلیت اطمینان را بسیار کاهش می دهد. اگر اندازه ذرات گرد و غبار بیش از 100 میکرون باشد، عرض سیمی آلومینیوم حدود 100 میکرومتر و ضخامت فیلم اکسید 50 میکرون است و بیشترین احتمال برداشت محصول است. در حال حاضر قطر سیم دقیق تر است، فیلم اکسید بسیار نازک است و ذرات گرد و غبار با اندازه ذرات کوچک به اجزای آسیب می رسانند. این عمدتا در فرآیند تمیزکاری خوردگی، فتوولیتوگرافی، جوش و جوش نقطه ای اتفاق می افتد.

2، ESD تخلیه الکترواستاتیک

(1) فیلم اکسید عایق کامپوزیت شکسته شده است، سرب دمیده شده یا خط دمیده شده است. اگر بدن انسان 10KV (100PF) شار استاتیک را حمل کند، ESD زمانی اتفاق می افتد که دستگاه لمس شود و جریان جریان تخلیه پالس تا 20A (10 ~ 100s) می تواند بلافاصله به زمین، بدون اشاره به تراکم بالا، خوب قطر سیم، فیلم SiO2 نازک. LSI، Vlsi، IC کلی است، MOS از آسیب رنج می برد.

به طور کلی مقاومت الکتریکی مقاومت ولتاژ مقاومت الکتریکی دیود SiO2 gate E = (5-10) × 106 V / cm است. اگر ضخامت فیلم دستگاه SiO2 1000 باشد، هنگامی که پین ورودی دستگاه اعمال می شود، ولتاژ ایستا 50 تا 100 ولت یا بیشتر ضربه می خورد. با استفاده از بدن و بدن با برق استاتیک بیش از 50 ولت، 100 وات بسیار رایج است.

(2) باعث ایجاد نویز و تداخل الکترومغناطیسی می شود

ESD باعث می شود تا EMI تا قبل از و بعد از موج الکترومغناطیسی پیک تیز داشته باشد و سیگنال قوی است که معادل چند ولت انرژی در مدار است. این فرکانس چند MH2 یا صدها MH2 سر و صدای شدید را می دهد که ممکن است باعث خسارت جزئی، تجهیزات و سنسورها به درستی کار نکند یا حتی موجب سقوط دستگاه شود.

EMI ناشی از ESD نیز موجب ورودی یک سیگنال خطا یا یک پدیده قفل می شود. در یک اتاق تمیز، جعبه EMIF از ویفر بر روی یک چرخ دستی فولادی قرار داده می شود و ESD ویفر را به وسیله سیلندر به چرخ دستی انتقال می دهد. این چرخ عایق بندی شده است و انتشار EMI موجب می شود تا وفرلر به سقوط برسد.

(3) شوک الکتریکی به بدن انسان

هنگامی که ESD بدن انسان یا ESD بدن انسان بیش از شوک الکتریکی بدن جریان فعلی 5 میلی آمپر و یا بیشتر، مردم احساسات مختلفی از آسیب، ایجاد اضطراب احساسی و خطاهای عملیاتی کارکنان.

اتاق های تمیز مانند نیمه هادی ها، صفحه نمایش های صفحه تخت و optoelectronics کار زیادی انجام داده اند، اما مشکلات ایستا در اتاق های تمیز هنوز بر ایمنی تولید و عملکرد محصول تأثیر می گذارند، بر هزینه ها و مزایای تولید تاثیر می گذارد و بر کیفیت و قابلیت اطمینان تاثیر می گذارد. به گفته کارشناسان صنعتی خارجی، کاهش سالیانه محصولات به علت الکتریسیته ساکن در ایالات متحده، به طور متوسط 8-33 درصد است. بعضی از مردم تخمین می زنند که آسیب سالانه صنعت الکترونیک در ایالات متحده 10 میلیارد دلار ارزش دارد. در دهه 1980، ژاپن محصولات الکترونیکی ضایعات را تجزیه و تحلیل کرد. تلفات ناشی از حساب های ESD برای 1/3. نیمه رسانای چین، نمایشگرهای کریستال مایع تخت، optoelectronics و غیره همه در اواخر شروع شده، اما خطرات الکترواستاتیک نیز از زمان به زمان رخ می دهد و عملکرد پایین است. بانک ها، شرکت های اوراق بهادار، پایگاه های داده محرمانه، مراکز نظارت، اتاق های اعزام نیرو، و غیره، اگر ESD رخ دهد، ایجاد تداخل آسان است و داده ها از بین می روند، وضعیت حتی جدی تر است.