آسیب ولتاژ الکترواستاتیک در خطوط تولید نیمه هادی و IC
1. ولتاژ الکترواستاتیک در خطوط تولید نیمه هادی و IC
1 پوشیدن لباس نایلون، کفش پایه پلاستیکی به آرامی در حال حرکت در طبقه تمیز، بدن انسان خواهد شد 7KV-8KV ولتاژ
2 هنگامی که حامل کریستال ساخته شده از فیبر شیشه ای بر روی میز پلی پروپیلن اسلاید می شود، تولید الکتریکی استاتیک 10 کیلو ولت آسان است.
3 خط مونتاژ ویفر: 5 کیلو وات ویفر، جعبه بارگذاری ویفر 35KV، لباس 10KV لباس، 10KV دسکتاپ، 8KV پوشش پلکسی گلاس، 1.5KV کریستال کوارتز، 6KV سینی ویفر
4 لیتوگرافی طبقه پلاستیکی 500V-1000V، کف شبکه فلزی نیز 500V-1000V، اتاق پلاستیکی طبقه 500V-1500V کاشی کف همچنین 500V-1500V، سطح دیوار پلاستیکی در حدود 700V، سقف پلاستیکی 0-1000V، هوا خروجی هواپیما آلومینیوم، پشت خروجی هوا 500V-1000V، سطح فلز 500V-3000V قابل حمل فلزی
2. خطرات الکترواستاتیک در خطوط تولید نیمه هادی و IC
1 خطر نیروی Coulomb الکترواستاتیک: گرد و غبار جذب شده توسط نیروی Coulomb الکترواستاتیک می تواند اجزای تشکیل دهنده را ایجاد کند که ممکن است باعث نشت یا اتصال کوتاه شود که ممکن است باعث کاهش کارایی و کاهش عملکرد شود. اگر اندازه ذرات گرد و غبار بیش از 100 میکرون باشد، عرض سیمی آلومینیوم حدود 100 میکرومتر است و ضخامت آن کمتر از 50 میکرومتر است و محصول به احتمال زیاد از بین می رود. این عمدتا در فرآیند تمیزکاری خوردگی، فتوولیتوگرافی، جوش و جوش نقطه ای اتفاق می افتد.
2 خطر ناشی از تخلیه الکترواستاتیک: در صورت وجود هزاران تن از هزار ولت اشیاء بالقوه، تخلیه پالس یا جرقه تخلیه، زمانی که یک جریان تخلیه بسیار بالا به زمین جریان دارد، پیک جریان فعلی مانند در 20A تشکیل شده است. ، باعث تأثیر قابل توجهی، تخلیه الکترواستاتیک (ESD) نیز همراه با انتشار موج الکترومغناطیسی همراه است که باعث خطرات مختلفی می شود.
A، MOSIC و سایر دستگاه های نیمه هادی، تخلیه الکترواستاتیکی (ESD) یا شکست نیمه خواهد بود. دروازه اثر ترانزیستور اثر میدان MOS از فیلم اکسید خارج می شود و یک فیلم اکسید بین دروازه و بستر قرار می گیرد. هنگامی که ولتاژ بین دروازه و بستر بیش از یک مقدار معین است، فیلم اکسید شکسته می شود، اگر MOSIC، سپس همه از بین می روند. هنگامی که ولتاژ به UB = 50-100V اعمال می شود، فیلم اکسید شکسته می شود، زیرا ظرفیت گیت بسیار کوچک است (حدود چند picofarads)، و مقاومت ورودی بسیار بالا است (حدود 1014Ω یا بیشتر). مقدار کمی شارژ یک ولتاژ بسیار بالا تولید می کند و شارژ دشوار خواهد شد. تا زمانی که بیش از 50V باشد (بدون حفاظت)، آن را سوزاند. بنابراین، تا زمانی که فرد به شبکه ختم شود، جزء خراب خواهد شد، زیرا مردم معمولی بیش از 50 ولت را شارژ می کنند. .
ما می توانیم حساسیت مدارهای مجتمع را به الکتریسیته ساکن درک کنیم. تفاوت بین تراشه های مختلف این است که آنها می توانند مقادیر مختلف ولتاژ ایستا را تحمل کنند. در شرایط عملیاتی، ولتاژ ایستا تقریبا 20 ولت به طور مستقیم با دستگاه ارتباط برقرار می کند تا عملکرد را از بین ببرد یا تضعیف کند.
اجزای آسیب الکترواستاتیک باعث خنثی سازی کل مدار چاپی می شود که موجب زیان های اقتصادی می شود.
سر و صدا از تخلیه الکترواستاتیک باعث خرابی یا سوء استفاده از تجهیزات و تخلیه غیر مستقیم می شود. نتیجه اندازه گیری دشارژ خازن علاوه بر تولید پالس بزرگ جریان گذرا باعث ایجاد نویز شدید در چند مگا هرتز یا حتی صدها تن هرتز می شود. در سال های اخیر، تحقیقات پایه ای در مورد سوء عملکرد کامپیوتر ناشی از سر و صدای تخلیه الکترواستاتیک پیشرفت های زیادی کرده است.
هنگامی که امواج الکترومغناطیسی تولید شده در جریان ترمینال به گیرنده وارد می شوند، نویز تولید می شود که با سیگنال برای کاهش کیفیت اطلاعات و یا خطا در اطلاعات مواجه می شود.
3، خطر القای الکترواستاتیک
جسم ناشی از الکتریسیته ساکن به طور کامل معادل با بدن شارژ است و پدیده های الکترواستاتیک و پدیده های تخلیه وجود دارد. اگر مقاومت شیء حسگر یک هدایت خوب کوچک باشد، تخلیه جرقه رخ می دهد و باعث آسیب می شود.
A. در کارگاه عملیات تولید.
در مجاورت تجهیزات و خطوط با ولتاژ بالا، هنگامی که کارکنان جوشکاری، دستگاه های MOS یا MOSSI را به علت القای الکترواستاتیک انجام می دهند، موجب تخریب الکترواستاتیک بدن انسان به وسیله دستگاه می شود، در نتیجه باعث آسیب رساندن به دستگاه می شود.
B. جریان هوا (جریان یون) توسط خط لوله حمل و نقل معادل شارژ شدن زمانی که بدن انسان می شود ضربات. هنگامی که بدن انسان در تماس با اجزای حساس باشد، تخلیه الکترواستاتیک دستگاه آسیب دیده را از بین می برد.
4. خطر الکتروستاتیک به فرآیند تولید تجهیزات الکترونیکی
تمام جنبه های تولید دستگاه از آسیب الکترواستاتیک رنج می برد. لینک های اصلی عبارتند از: تهیه و حمل وسایل؛ بازرسی و پذیرش دستگاه ها در کارخانه؛ ذخیره و جمع آوری دستگاه ها؛ درج دستگاه و لحیم کاری؛ مونتاژ محصول و بازرسی؛ بسته بندی محصول و تحویل.
علاوه بر تخریب الکتریکی استاتیک در طول تولید قطعات الکترونیکی و تجهیزات الکترونیکی، در هنگام استفاده از محصول نیز به برق استاتیکی وابسته است. به طور خلاصه، آسیب های ناشی از الکتریسیته ساکن به اندازه کافی باعث می شود که عملکرد دستگاه های الکترونیکی و دستگاه های الکترونیکی از لحاظ غیر قابل تنظیم و آسیب به دستگاه های الکترونیکی و دستگاه ها نادیده گرفته شود.