ایده های اساسی و روش های فنی برای حفاظت الکترواستاتیک
تخلیه الکترواستاتیک می تواند به دستگاه آسیب برساند، اما با در نظر گرفتن اقدامات حفاظتی و کنترل مناسب و مناسب ESD برای ایجاد یک سیستم ESD، ESD می تواند از بین بردن یا کنترل شود تا آسیب به قطعات به حداقل برسد. دو ایده اساسی برای محافظت الکترواستاتیک و کنترل دستگاه های حساس وجود دارد:
1. (1) جلوگیری از انباشت الکتریسیته ساکن در مناطقی که زمین ممکن است رخ دهد و اقدامات خاصی برای جلوگیری یا کاهش وقوع تخلیه الکترواستاتیک انجام دهد یا روش "نشت در هنگام تولید" را برای حذف انباشت بار الکتریکی . میزان شارژ تا حد ممکن کنترل می شود.
1. (2) بار شارژ جمع شده را سریع و قابل اعتماد کنید.
2.1 روش کنترل فرآیند
طراحی شده برای تولید شارژ استاتیک کمی در طول فرآیند تولید ممکن است. برای این منظور، از جنبه های جریان روند، انتخاب مواد، نصب تجهیزات و مدیریت عملیات برای کنترل تولید و انباشت الکتریسیته ساکن، و برای سرکوب پتانسیل الکترواستاتیک و تخلیه الکترواستاتیک به منظور جلوگیری از درجه خسارت. همانطور که در فرایند تولید نیمه هادی ها، مقاومت آب آب تخلیه شده برای شستشو باید پس از اتمام روند اتصال کم عمق دستگاه سرعت بالا کنترل شود. هرچند مقاومت بیشتر است، بهتر است اثر تمیز کردن، اما مقاومت بالاتر، برق بالاتر استاتیک تولید شده در تراشه است. بنابراین، عموما در سطح کمی بالاتر از 8 MΩ کنترل می شود و نمی تواند 16-17 MΩ برای فرآیند اولیه باشد. علاوه بر این، در انتخاب مواد، مواد بسته بندی باید از مواد ضد استاتیک استفاده کنند، سعی کنند از مواد پلیمری بدون درمان استفاده کنند.
2.2 روش نشت
این دستگاه برای از بین بردن برق استاتیک از طریق نشت طراحی شده است. معمولا زمين الکترواستاتيک نشت بار الکتريکی به زمين است؛ همچنین یک روش افزایش هدایت الکتریکی شیء وجود دارد که باعث می شود زمین در امتداد سطح یا داخل جسم نشت کند، مانند افزودن عامل الکترواستاتیک یا افزایش رطوبت. رایج ترین بند مچ دست ضد استاتیک است که توسط کارکنان و پست پایه استاتیک پوشیده شده است.
2.3 روش محافظت الکترواستاتیک
بر اساس اصل محافظ الکترواستاتیک، می توان آن را به دو نوع تقسیم کرد: محافظ میدان داخلی و حفاظت از میدان خارجی. اندازه گیری خاصی این است که بدن لود شده را از اشیاء دیگر با یک پوشش صفحه ای متروک جدا کرده، به طوری که میدان الکتریکی بدن شارژ بر سایر اجسام اطراف (درون حیاط داخلی) تاثیر نمی گذارد. گاهی اوقات پوشش محافظ برای احاطه کردن شیء منفرد مورد استفاده قرار می گیرد، به طوری که از میدان های الکتریکی خارجی محافظت می شود. به عنوان مثال، یک بسته ی دستگاه GaAs از یک مورد فلزی یا یک فیلم فلزی استفاده می کند.
2.4 روش تلفیقی خنثی سازی
هدف این است که از طریق خنثی سازی پیچیده از اتهام استاتیک حذف شود. استفاده از یک تخلیه کننده زمین برای تولید یک مجتمع با یون شارژ شده بر روی بدن شارژ برای دستیابی به خنثی سازی. به طور کلی، وقتی که بدن شارژ یک عایق است، از آنجا که بار الکتریکی نمی تواند بر روی عایق بگذارد، روش تخلیه نمی تواند برای شارژ برق استفاده شود. در این مورد، باید از یک ضد عفونیکننده برای تولید یون متفاوتی برای خنثی سازی استفاده کرد. این روش برای از بین بردن اتهام الکترواستاتیک تولید شده بر روی نوار نقاله استفاده می شود.
2.5 تمیز کردن
طراحی شده برای جلوگیری از تخلیه متناوب. برای این منظور، سطح بدن شارژ و اشیای اطراف آن باید به اندازه صاف و پاکیزه نگه داشته شود تا امکان تخلیه متناوب کاهش یابد.