آگاهی از حفاظت الکترواستاتیک در صنعت نیمه هادی
دانش پایه پیشگیری از الکتریسیته ساکن در صنعت نیمه هادی:
روش تولید الکتریسیته ساکن: تماس-جداسازی؛ اصطکاک؛ پوست کندن؛ هدایت.
ایمنی اول: اینکه آیا اقدامات ضد ایستا با اقدامات ایمنی در تضاد است یا نه.
اقدامات حفاظتی: اتصال زمینی-هم ارزی؛ استاتیک کنترل قدرت; بسته بندی ضد ایستا.
نکات کلیدی نگرانی: الزامات حساسیت الکترواستاتیک محصول؛ حفاظت تطبیق استاندارد; تایید انطباق.
چه زمانی از مواد فلزی استفاده کنیم و چه زمانی از مواد استاتیکی استفاده کنیم؟
مواد فلزی:
1. مواد فلزی می تواند به طور مستقیم استفاده می شود زمانی که محصول در پتانسیل برابر است.
2. مواد فلزی می تواند مورد استفاده قرار گیرد زمانی که یک محصول به طور مستقیم با مواد فلزی تماس ندارد.
با توجه به کل چارچوب پردازش محصول، ویفرها از فیلم غیر ضد ایستا استفاده می کنند و برخی تجهیزات نمی توانند به یک فن آیون مجهز شوند. الکتریسیته ساکن در طول فرایند انباشته خواهد شد. علاوه بر نصب فن ion، ما برخی از مواد هدایت سریع را انتخاب کنید به الکتریسیته استاتیک راهنمای سریع دور.
آیا اشکالی ندارد اگر از مواد dissipative ایستا استفاده شود؟
بله، اما الکتریسیته ساکن بسیار آهسته از بین می رود، خطر تجمع الکتریسیته ایستا وجود دارد و تخلیه در طول برش رخ خواهد داد که خطر زیادی برای آسیب ESD به محصول به همراه دارد.
مواد الکترواستاتیک: پس از برش و جداسازی یک محصول واحد، محصولات کشتیرانی و بسته بندی می توان از مواد الکترواستاتیک استفاده کرد.
استفاده از مواد اشتباه چه خطراتی دارد؟
از آنجا که محصولات پس از برش و جداسازی در توانایی ضد ایستا حساس تر و ضعیف تر هستند، در صورت استفاده از مواد فلزی، به دلیل هدایت بیش از حد سریع (به دلیل تخلیه سریع پس از تماس مستقیم با محصول)، آسیب ESD به محصول وارد خواهند کرد و استفاده از مواد الکترواستاتیک فشار را محدود خواهد کرد. کاهش خطر آسیب ESD به محصول پس از تماس با محصول.
اقدامات حفاظت الکترواستاتیک در صنعت نیمه هادی
اتصال زمینی-هم ارزی: هادی در تماس با دستگاه حساس متوجه اتصال هم ارزی می شود تا به دلیل الکتریسیته ساکن بر روی هادی از تخلیه جلوگیری کند.
کنترل توان ایستا: الکتریسیته ساکن مواد عایق را نمی توان از طریق اتصال زمینی و هم توان حذف کرد، بنابراین کنترل توان ایستا باید در اطراف دستگاه های حساس انجام شود.
بسته بندی ضد ایستا: دستگاه های حمل شده به خارج از منطقه حفاظت ESD باید از بسته بندی ضد ایستا برای جلوگیری از نفوذ برق استاتیک خارجی استفاده کنند.
هسته حفاظت ایستا حذف ایستا است: جلوگیری از تجمع الکتریسیته ساکن در جایی که ممکن است الکتریسیته ایستا رخ دهد. ما آن را برای تولید و تخلیه برق استاتیک. و ولتاژ الکترواستاتیک را در یک محدوده امن کنترل کنید. تجمع الکتریسیته ساکن موجود را از بین ببرد و آن را به موقع آزاد کند.