حفاظت الکترواستاتیک در تولید نیمه هادی

حفاظت الکترواستاتیک در تولید نیمه هادی

در فرایند تولید نیمه هادی، پیشگیری و کنترل الکتریسیته ساکن ضروری است. در صورت عدم انجام پیشگیری و کنترل الکتریسیته ساکن، مشکلاتی مانند آلودگی ذرات، آسیب نیمه هادی ناشی از تخلیه الکترواستاتیک و خاموش شدن تجهیزات مرتبط با آن رخ خواهد داد. برنامه پیشگیری و کنترل الکتریسیته ساکن در فرایند تولید نیمه هادی شامل: زمین سازی، مواد توزیعی ایستا ویون های خنثی سازی هوا است. به منظور برآورده کردن الزامات آورده شده توسط توسعه سریع صنعت نیمه هادی، مواد dissipative استاتیک و ایون سازهای هوا نیز به طور مداوم در حال تغییر است.

ضرورت کنترل ايستا در توليد نيمه هادی

در زمینه تولید نیمه هادی، حذف کامل اثرات منفی الکتریسیته ساکن غیرممکن است. حتی با حفاظت ایستا، حفظ سطح بالایی از کیفیت و عملکرد محصول دشوار است. اما اگر عدم کنترل ایستا، آلودگی ذرات، آسیب تخلیه الکترواستاتیک و خرابی تجهیزات وجود داشته باشد، این مشکلات در ساخت بسترهای سیلیکونی و فتوماسک ها، در اتاق تمیز قبل از نیمه هادی، و در فرایندهای پایین دست شامل مونتاژ، بسته بندی، و آزمایش نهایی و کشتیرانی است. ممکن است در هر زمان اتفاق بیفتد و به طور جدی بر کیفیت محصولات نیمه هادی تأثیر بگذارد.

روش کنترل استاتیک نیمه هادی

در محیط تولید نیمه هادی چه در اتاق تمیز جلو و چه در آزمون عقب، مونتاژ و بسته بندی باید از زمین سازی هادی ها و مواد استاتیکی استفاده شود. زمینه سازی مانع از تولید الکتریسیته ساکن بر روی هادی های عایق و مواد توزیعی ایستا می شود. اگر این مواد حامل الکتریسیته ساکن هستند، می توانند الکتریسیته ساکن را نیز از بین ببرند. هر ماده هادی، از جمله پرسنل، تجهیزات، سطوح کارخانه (کف، دیوار، سقف و سطوح کار) و محصولات، باید زمینه سازی قابل اعتماد داشته باشد. این پایانه های زمینی باید به طور منظم بررسی شوند. برخی هادی های بدون زمین معمولاً منابع تخلیه ایستا هستند.

مواد استاتیکی در حالی که خواص برخی مواد عایق (مانند انعطاف پذیری و مقاومت شیمیایی) را حفظ می کنند، بارهای ایستا را از بین میبرند. اگر به طور قابل اعتمادی زمین دار شوند، بار ایستا را حفظ ن خواهند کرد. در برخی کاربردها (مانند کامپیوترهای رومیزی یا سوکت های تست)، این مواد می توانند جایگزین مواد هادی شوند. در این کاربردها ممکن است با محصولات دارای بار الکترواستاتیکی در تماس باشند. مقاومت بالا از مواد استاتیک dissipative (به طور معمول در محدوده 10^4 تا 10^11 ohms) می تواند روند حرکت بار کند برای جلوگیری از تخلیه الکترواستاتیک حوادث آسیب. مواد استاتیکی باید به طور منظم مورد بازرسی و آزمایش قرار گیرند. بسیاری از این مواد با اتاق های تمیز سازگار نیستند و ویژگی های استاتیکی در طول زمان تغییر خواهد کرد، بنابراین باید هنگام استفاده از آن ها به درستی انتخاب شوند.